Le prépolissage et le polissage sont la dernière étape dans le processus de préparation des échantillons et se compose de plusieurs étapes. Chaque étape utilise un abrasif plus fin que le précédent, le but ultime étant de produire, une surface de l'échantillon sans déformation et hautement réfléchissante sans rayure. L'échantillon peut avoir besoin d’être examiné, soit gravé ou non gravé, pour révéler la microstructure du matériau. Il arrive fréquemment que les contrastes dans le matériau sont visibles uniquement après une étape d'attaque électrolytique réussie.
